面向表面疏水化处理、SiN 薄膜前驱体等行业的应用需求,广州依帕克斯提供EB-2101(四甲基二硅氮烷 CAS 15933-59-2)的行业解决方案与配方级支持。EB-2101 由两个二甲基甲硅烷基(CH₃)₂HSi—通过 NH 桥接而成,每个硅原子上带 2 个甲基和 1 个 Si–H。本页按应用领域拆解作用机理与选型要点,并给出常用工艺与用量区间,便于按行业场景快速落地;特殊体系可联系技术团队定制方案。
| 化学名称 | 四甲基二硅氮烷(1,1,3,3-四甲基二硅氮烷、Bis(dimethylsilyl)amine,简称 TMDS) |
|---|---|
| CAS No. | 15933-59-2 |
| 分子式 / 分子量 | C₄H₁₅NSi₂ / 133.34 |
| 化学稳定性 | 化学性质稳定 |
液相表面处理(推荐):用无水乙醇、甲苯等溶剂配成 0.5%~2% 的稀溶液,洁净基片浸渍 5~30 分钟,再以无水溶剂漂洗并于 100~150 ℃ 烘烤固化;处理后水接触角一般可达 100° 以上。 不同行业产线条件差异较大,建议按实际体系小试标定。
气相法处理:将干燥基片置于 100~200 ℃ 的处理腔中,通入汽化的 EB-2101 反应 10~60 分钟;全程保持干燥,防止水汽进入。具体参数按基材与工艺实测确定。 不同行业产线条件差异较大,建议按实际体系小试标定。
密封贮存于阴凉、通风、干燥处,防潮避光,远离水汽、酸类与氧化剂;硅氮烷对水汽敏感,开封后建议充氮密封并尽快用完。标准包装:20KG 纸箱、25KG 塑料桶、200KG 铁桶或 IBC(按产品实际可选),可按客户要求提供其他规格。未开封常规有效期 12 个月。方案落地阶段可按整包装采购,工艺验证阶段支持小包装取样。
对玻璃、二氧化硅、金属氧化物、纳米颗粒等表面接枝二甲基甲硅烷基,降低表面能,获得疏水/防粘表面。在该行业中,EB-2101按推荐用量区间添加,先小试验证界面结合与综合性能,再确定批量工艺参数。
作为含 Si–H 的硅氮烷分子前驱体,用于 SiN 薄膜的气相或溶液法沉积。结合其硅氮烷的界面键合特点,可在SiN 薄膜前驱体体系中同时改善粘接强度与耐久表现,具体以对比测试为准。
用作选择性还原反应的硅氢试剂。选型时核对有机官能团与体系反应性是否匹配,必要时由技术团队确认兼容性。
①液相表面处理(推荐):用无水乙醇、甲苯等溶剂配成 0.5%~2% 的稀溶液,洁净基片浸渍 5~30 分钟,再以无水溶剂漂洗并于 100…;②气相法处理:将干燥基片置于 100~200 ℃ 的处理腔中,通入汽化的 EB-2101 反应 10~60 分钟;全程保持干燥…。建议从区间下限起步,按硅烷化试剂体系的实测效果逐步优化。